预防薄壁模具在热处理过程中的变形，可以从以下几个方面着手：

1、合理控制热处理温度和时间：避免过高的温度和过长的时间，这样可以减小材料热膨胀和收缩的差异，从而降低变形风险。

2、优化模具结构设计：

避免尖角和厚薄相差悬殊的截面，采用平滑过渡的设计，这样可以降低模具截面的温差，减小热应力，从而减小变形。

尽可能采用封闭及对称结构，防止淬火后应力分布不均匀导致变形。对于易变形的模具，可以考虑在淬火前留筋，淬火后再切除。

对于形状复杂、尺寸大的模具，可以考虑采用组合式结构，这样可以将复杂模具简化为简单模具，减小变形与开裂的风险。

3、进行预先热处理：在模具的粗加工后、半精加工前，进行一次去应力退火，以降低残余应力，减小变形可能性。

4、选择适当的淬火工艺：例如，采用淬油分级淬火或等温淬火工艺，以减少淬火残余应力，降低变形风险。

综上所述，预防薄壁模具在热处理过程中的变形需要综合考虑热处理参数、模具结构设计、预先热处理以及淬火工艺等多个方面。通过合理的控制和优化，可以有效地降低模具的变形风险，提高产品质量和生产效率。